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投影曝光机 nikon
型       号：NSR2205 EX14C
名       称：投影曝光机
品       牌：nikon
EX14C步进投影光刻机：配备KrF excimer laser光源系统，波长248nm。投影镜头倍率5:1。可执行4英寸各类厚度晶圆自动曝光。极限分辨率：0.25μm；
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