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铝、铜、钛等金属，片内均匀性1%。电子束蒸发镀膜机主要有电子枪系统、真空系统、蒸发源材料放置系统、基片夹具和传动系统、膜厚检测系统和控制系统构成。电子枪发射的电子束在高真空环境下聚焦到蒸发源材料上，使材料快速蒸发，蒸发后的材料原子或者分析会在晶圆基底表面凝结成薄膜。