FIB(聚焦离子束，Focused Ion beam)是将液态金属（Ga）离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，已完成微、纳米级表面形貌加工。

聚焦离子束：

   主要功能：定点切割、选择性的材料蒸镀（常见的金属沉积有铂(Platinum,Pt)和钨(Tungstun,W)二种）、 强化性蚀刻或选择性蚀刻

     广泛应用：物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。

型号：Helios  NanoLab650

型号：   AURIGA

最新FIB案例

利用FIB的微、纳加工能力，可以制备厚度连续变化的样品。上图样品厚度从270纳米连续变化到120纳米，样品的长度约为10微米

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