飞秒激光微纳加工

1. 原理和仪器仪器：

飞秒激光微纳加工系统

超短、超强和高聚焦能力是飞秒激光的3大特点。飞秒激光脉宽可短至4fs(1 fs=10-15s)以内…，峰值功率高达拍瓦量级(1Pw=1015w)聚焦功率密度达到10²⁰-10²²W／cm²。飞秒激光可以将其能量全部、快速、准确地集中在限定的作用区域，实现对玻璃、陶瓷、半导体、塑料、聚合物、树脂等材料的微纳尺寸加工，在微纳加工领域的应用主要有表面微纳结构加工及三维多光子聚合等。

2. 技术指标：

最大工作行程：100mm×100mm×100mm（可定制）

激光光源：脉冲时间100fs  脉冲频率80MHz  波长800nm（可定制）

最小位移分辨率：1nm

最小加工分辨率：100nm

图2：加工结果

3. 结果输出：

（1）加工实物

（2）报告

4. 客户提供：

（1）材料+加工类型；

（2）图纸+加工数量；

（3）技术要求；

（4）反馈数据的报告格式和模板；

客户提供：

（1）材料+加工类型；

（2）图纸+加工数量；

（3）技术要求；

（4）反馈数据的报告格式和模板；

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