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服务描述
功能特点
★ 配有三道波谱仪六块晶体（LiF/PETJ、TAP/LDE2、PETH/LiFH）和软X射线谱仪，可实现: 3Li~ 92U元素的定性、定量分析；
★ 独立、高速驱动的分光谱仪和高灵敏度的分光晶体，可实现快速分析，分光晶体自动交换，无需重新聚焦；
★ 电子束流稳定性好，连续可调，样品台重复性 ≤ 2µm，机械系统精密度高；
★ 可进行高分辨二次电子、背散射电子成像，低倍下可实现大焦深观察；
★ 软X射线具有高的能量分辨率，可对特定元素的化学结合状态进行分析。
技术参数
● 二次电子分辨率/Resolution：
LaB6：30kV —5nm；W ：30kV—5nm
● 束流稳定性/Beam stability：±0.05%/h
● 束流/beam current：10^-12 ~10^-5 A
● 加速电压/Accelerating voltage: 0~30 kV
● 检测分析范围/Range: 3Li~ 92U
● 分析精度/Analytical precision：
优于1%(主元素，含量>5%)，优于5%(次要元素，含量~1%)
● EPMA能量分辨率/Energy Resolution:
8eV (FWHM@Fe-K）
● SXES能量分辨率/ Energy Resolution:
0.3eV(Al-L 光谱图73eV处测试)
项目介绍
固体材料成分的定性、定量分析及微观形貌观察，元素组成的点、线、面分析以及状态分析
样品要求
直径小于30mm，高度小于20mm
表面平整，导电
不导电需要喷碳
粉末样品需要包埋和抛光
结果展示
定量分析
面分析
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