X射线光电子能谱XPS/原位变温XPS/原位辐照XPS/微区XPS

1. 可测样品最大高度20mm左右，包括各种异形件，如球，刀片，头发丝级的细丝，圈等各种零件和试件。

2. 可进行微区测试，光斑最小直径7.5um，采谱面积10um至1300um，微区分析（空间分辨率优于10um，用同源X射线激发的SXI二次电子成像，保证图谱与所需测试区域的一致。

3. 可进行原位变温测试：温度范围：-150℃-800℃。

4. 可进行原位价带谱测试（波长范围：10-400nm，氘灯氙灯都有）。

5. 表面清洁：GCIB团簇离子枪，通过绝热膨胀和离化，使2000个Ar离子带一个电荷，在不破坏无机物的化学态条件下，实现对有机物的清洗和溅射功能。

6. 深度剖析：配有Ar离子枪，可进行溅射和深度剖析。刻蚀深度可达um级。

XPS特色：

采集深度0.5-7.5nm

成分检出限0.1atom%

采集信息：元素Li-U，化学态

粉末样品不少于10 mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送

块状/片状/薄膜：常规长宽厚不超出1 cm×1 cm×3 mm

强磁性样品无法直接测量，需要退磁处理