中红外椭偏仪

椭偏仪 是一种用于探测薄膜厚度、折射率n、消光系数k以及材料微结构的光学测量仪器。测量精度高，适用于薄膜，与样品非接触，是一种无损测试方法。

测量范围：210nm-1700nm，1.7-33um。 样品尺寸8寸及以下

价格：mapping 1000/pcs ，价格500—900/pcs（5点以内），超过5点，加100/点。 红外波段1200/pcs

需了解衬底材质大小，是否为透明衬底

如需测量nk，需了解薄膜的具体成分，了解需要测量的波长范围

如需测量膜厚，需了解表面膜层大致厚度，膜层为单层还是多层膜，膜层材质和大致折射率

8英寸硅片表面膜层厚度分布mapping图

石英衬底表面单层DLC膜厚度测试

9层调光膜，多层膜厚测试

硅衬底表面铌酸锂薄膜膜厚和n，k测试