白光干涉三维轮廓仪

设备一 相关信息

设备型号：Phase shift MicroXAM

厂家：MicroXAM-3D

技术参数：

垂直扫描范围：30 μm 、100μm、5mm、10mm

垂直扫描分辨率：0.01nm

分辨率：752×480像素（可选1k×1k ）

侧向分辨率：0.11-8.8 μm

RMS重复精度：1nm

视场范围：8mm×10mm-0.084mm×0.063mm

校正精度：＜＜0.1%

反射要求：1%-100%

功能特色：粗糙度、磨损体积、2维/3维形貌

设备二 相关信息

设备型号：Bruke Contour X500

垂直分辨率：亚纳米级

水平分辨率：小于0.38μm

放大倍数：2.75-1000倍

暂无